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16 阵列 MEMS 气体传感芯片完成流片验证

2026-08-30
16 阵列 MEMS 气体传感芯片

16 阵列 MEMS 气体传感芯片完成流片验证,在 3.5×3.5mm 体积内实现多气体同步感知。

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